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減薄機

簡要描述:v可根據(jù)客戶需求定制化各類工作臺

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號

廠商性質(zhì)

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

117
詳細(xì)介紹

v 可根據(jù)客戶需求定制化各類工作臺,滿足各類半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝

v 晶圓尺寸:8英寸

v 砂輪規(guī)格:?203(OD)mm

v 砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍:0~6000 RPM

v 工作臺轉(zhuǎn)速:0~400 RPM

v Z軸行程:130mm

v Z軸進(jìn)給速度:0.1~1000 um /sec   可選配最小0.01um/sec

v 厚度在線測量分辨率:0.1um

v 厚度在線測量重復(fù)精度:±0.001 mm


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