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v 溫度分辨率:0.1℃
v 控溫精度:±0.2℃
v 溫度均勻性:<±1%
v 可存貯100組烤膠配方,每個配方可設(shè)置5個加熱階段
v 電動頂針調(diào)節(jié)高度:0-30mm
v 頂針高度分辨率:0.1mm
v 頂針可使用底物直徑大于40mm/120mm圓晶,可定制
v 加熱面板尺寸:220mm*220mm方形
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