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v 樣品尺寸:基于所選擇的平臺(tái)而定,圓形樣品支持300mm(12 inch),或方形尺寸730x920mm
v 測量范圍:
? V/I 電阻: 1.0m - 3.0M Ω
? 方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
? 電阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm