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Canon FPA5000 ES3掃描式光刻機

簡要描述:CanonFPA5000ES31

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號

廠商性質(zhì)

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

114
詳細介紹

Canon FPA5000 ES3

1.Canon FPA5000 ES3掃描式光刻機

光源波長248nm

分辨率優(yōu)于0.18µm

主要用于6寸、8寸及12寸生產(chǎn)線

廣泛應(yīng)用于化合物半導體、MEMS、LED等領(lǐng)域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術(shù)指標

分辨率0.18µm

N.A.0.6-0.73

曝光光源248nm

倍率4:1

曝光現(xiàn)場26mm*33mm

對準精度35nm

3.更多服務(wù)

提供中英文軟件及6"、 8"、12"設(shè)備硅片改造

常年提供所有備件、耗材




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