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步進(jìn)式Stepper光刻機(jī)

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基礎(chǔ)信息

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廠商性質(zhì)

代理商

更新時(shí)間

2024-10-22

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162
詳細(xì)介紹

v 解像力：≤350nm

v 投影倍率：1:5

v 市場(chǎng)尺寸：20mm*20mm(5inch)/ 22mm*22mm(6inch)

v 光源：i-Line 365nm

v 掩膜版尺寸：5inch/6inch(可選)

v 晶圓尺寸：50mm（2inch）/75mm（3inch）/100mm（4inch）/150mm（6inch）/200mm（8inch）（可選）

v 套刻精度：≤40nm

v 設(shè)備尺寸：（W）1900*（D）2600*（H）2450mm


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